報告題目：ROAD TO THE DEVELOPMENT OF MECHANICAL SENSORS USING PIEZORESISTIVE EFFECT

報  告  人: 杉山進(jìn)  教授（Prof. Sugiyama Susumu）

報告時間：2022年5月20日 下午14:00

報告地點：線上（https://teams.live.com/meet/9588389833612）

研究生院 機(jī)電工程學(xué)院

2022年5月19日

報告人簡介：

杉山進(jìn)教授是日本MEMS技術(shù)的先驅(qū)、開拓者和領(lǐng)軍人物，被譽為“日本MEMS之父”，帶領(lǐng)豐田中央研究所半導(dǎo)體研究所的科學(xué)家和技術(shù)人員首次實現(xiàn)CMOS和MEMS傳感器集成，發(fā)明了第一代用于汽車安全氣囊的加速傳感器，開拓了MEMS產(chǎn)業(yè)化時代；1997年加入立命館大學(xué)（Ritsumeikan University），創(chuàng)立了MEMS加工實驗室和參與創(chuàng)建了立命館同步輻射加工中心，在LIGA技術(shù)上作出了突出貢獻(xiàn)。杉山進(jìn)教授是電氣工程師學(xué)會會員、日本應(yīng)用物理學(xué)會成員、日本機(jī)器人協(xié)會成員、日本機(jī)械工程師學(xué)會成員、日本電子產(chǎn)品封裝研究所成員、美國電氣和電子工程師學(xué)會成員，并獲得了日本文部省大臣獎，日本電子電氣學(xué)會終生成就獎。